1、前言

        在光電電子元電子元器件素材和集成化控制電路工藝流程中，素材、晶圓、集成電路芯片的檢驗是必切勿少的的環節。不斷地光電電子元電子元器件素材檢驗技術水平的趨勢，數子源表SMU搭檔自測自測探頭臺的系統化搭檔現在已經被廣泛的用途于素材/小電子元電子元器件的電學特征查證中。數子源表SMU應有源測功能性，應該產生相電壓-相電壓(I-V)特征曲線方程，是光電電子元電子元器件素材素材、電子元電子元器件電使用性能定量分析檢測的核心理念；自測自測探頭臺有人工、半自己和全自己這三種，給出檢驗需首選配備的產品的就可以。在運用時要重視自測自測探頭的的材料及其針尖的直徑怎么算與形式，自測自測探頭的材料不同的，其抗阻也并不同樣；不僅如此，自測自測探頭尖偏磨和形成的污染也會對檢驗然而形成的影響。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、電極、DUT聯接構造

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        檢測探針(zhen)臺與源(yuan)表的(de)接(jie)觸(chu)(chu)通(tong)常(chang)有(you)2種(zhong)(zhong)，有(you)一種(zhong)(zhong)便(bian)用同基準(zhun)(zhun)面接(jie)觸(chu)(chu)，另有(you)一種(zhong)(zhong)便(bian)用三同基準(zhun)(zhun)面接(jie)觸(chu)(chu)。當精確測量小(xiao)感(gan)(gan)應(ying)(ying)(ying)(ying)電(dian)流值(nA、pA)時(shi)，應(ying)(ying)(ying)(ying)便(bian)用三同軸轉(zhuan)移(yi)模(mo)快和三同基準(zhun)(zhun)面纜。在(zai)聯接(jie)源(yuan)表防(fang)護鍴的(de)檢測集成(cheng)運(yun)放(fang)中，基于三同軸的(de)防(fang)護層與內芯之前是等電(dian)極電(dian)位，不(bu)也會有(you)漏感(gan)(gan)應(ying)(ying)(ying)(ying)電(dian)人(ren)流生(sheng)，就能夠增強小(xiao)感(gan)(gan)應(ying)(ying)(ying)(ying)電(dian)流值檢測精準(zhun)(zhun)度(du)。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2接地；3內攔截層；4正頂層；5外攔截層；6外絕緣護套）

圖：三同中線纜等效電源原理圖

  上圖下圖為三同定位軸線材等效線路圖，傳輸高性價比HI和Guard直接的電極電位差近乎為0，進而削除線材政治意識的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S產品系列直流電源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸拼接器與一般的兩芯拼接器有一定區別，可一同接駁信息、等電位拼接和禁掉了層，禁掉了功能好。和多芯電纜線相對比，三同軸電纜線格局簡單，準確性好；和兩芯同軸電纜線相對比，包括更好的禁掉了耐熱性和小信息的高速傳輸意識。三同軸電纜線的拼接方式英文選用了GUARD信息，更好地發揮了禁掉了效應，更重要于小信息的測定。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

適用杜邦線轉BNC母頭實施拼接；

- 三同軸連接 -

便用三同軸接轉模組實行連到。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

之間應用三同軸網參與鏈接；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將平常的三同軸替換為高壓力專用工具三同水平線；壓力變壓器三同軸插頭的耐壓性試驗能力素質較差，普賽斯選用的壓力變壓器三同軸插頭就可以耐壓性試驗3500V。

圖：左-高壓變壓器三同軸、右(you)-平民(min)三同軸

HCPL 100大電流源表

大感應功率衡量時，單根檢測器充許的感應功率局限，感應功率過大很有可能會進而引發燒針這種現象，印象測試英文的結果，所以可以食用多檢測器電容串聯。

圖：多電極串連舉手

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面金屬電極進行連接圖示

圖(tu)：異(yi)面探針拼接舉手

4、測試注意事項

-探針臺接地：探針臺結構上(shang)有很多(duo)金(jin)(jin)屬，在(zai)帶電的(de)環境下會存在(zai)很強的(de)靜電，一(yi)般探針臺會自帶大(da)地(di)(di)連接(jie)線(xian)，使用中將(jiang)探針臺接(jie)大(da)地(di)(di)，避免釋放(fang)靜電給測試帶來(lai)影響。一(yi)般地(di)(di)線(xian)分(fen)為(wei)兩類：一(yi)種(zhong)是(shi)工(gong)作接(jie)地(di)(di)，另一(yi)種(zhong)是(shi)安(an)全性接(jie)地(di)(di)。工(gong)作接(jie)地(di)(di)是(shi)把金(jin)(jin)屬導(dao)體銅(tong)塊埋在(zai)土壤里， 再通過導(dao)線(xian)引出地(di)(di)面(mian)，將(jiang)導(dao)線(xian)接(jie)入設備(bei)的(de)接(jie)地(di)(di)端(duan)口，形(xing)成接(jie)地(di)(di)回路(lu)。 安(an)全性接(jie)地(di)(di)是(shi)指使用探針臺金(jin)(jin)屬外(wai)(wai)殼自帶的(de)接(jie)地(di)(di)線(xian)進行(xing)接(jie)地(di)(di)，當探針臺金(jin)(jin)屬外(wai)(wai)殼發生絕緣(yuan)損壞，外(wai)(wai)殼帶電時(shi)，電流(liu)沿著(zhu)其外(wai)(wai)殼自帶的(de)接(jie)地(di)(di)線(xian)接(jie)入大(da)地(di)(di)，以達到(dao)安(an)全的(de)目的(de)。

-連接線接地：探針臺(tai)的(de)(de)連接線(xian)(xian)為同(tong)軸(zhou)線(xian)(xian)，兩(liang)根同(tong)軸(zhou)線(xian)(xian)的(de)(de)內(nei)芯是信號線(xian)(xian)，從而導(dao)致兩(liang)根同(tong)軸(zhou)線(xian)(xian)的(de)(de)外(wai)屏(ping)(ping)蔽(bi)層懸空，未起到屏(ping)(ping)蔽(bi)的(de)(de)作用(yong)，在磁場環境復雜的(de)(de)情況下會對測試產生較(jiao)大的(de)(de)干(gan)擾。因(yin)此，為了獲得較(jiao)好的(de)(de)測試效(xiao)果，需要(yao)將同(tong)軸(zhou)線(xian)(xian)纜的(de)(de)外(wai)屏(ping)(ping)蔽(bi)層接入工作地(di)線(xian)(xian)。

-關閉光源：很多(duo)器件(jian)和材料對光源(yuan)敏(min)感，測試(shi)中如果不關閉光源(yuan)會影響(xiang)測試(shi)結果，所以測試(shi)時盡(jin)量(liang)在無光源(yuan)影響(xiang)的環境中進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如(ru)果測試電(dian)流為(wei)pA級別，需要給探針臺增(zeng)加屏(ping)蔽罩。

-異面電極材料連接：異面電極(ji)材料連(lian)接時通常(chang)會使用探針臺(tai)Chuck盤做電極(ji)，但是Chuck盤的平整度會對材料的接觸面有影(ying)響，那么此時就(jiu)需(xu)要(yao)使用引電極(ji)。