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細心于半導體設備電穩定性測試儀

國產數字源表(SMU)和探針臺測試應用案例

來源地:admin 時刻:2024-03-06 13:16 搜素量:3184

1、MPD晶圓測試

測試設備:智能源表P300+測試探針臺

異常現象:測試中存在一個3nA左右的漏電流

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圖:出錯測評直線圖

異常原因:測試現場的連接線屏蔽層接地不達標,外界電磁環境的作用下使設備對大地的電位發生變化,造成設備工作不穩定

優化措施:將屏蔽層接地

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圖:改善后檢驗曲線美圖


2、三極管測試

測試設備:2臺直流電壓源表S300+電極臺

異常現象:源表輸出0-3V的電壓掃描,當輸出的電壓小于0.5V時,源表回讀的電壓值為-0.5V

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圖:不正常測試測試數據

異常情況理由:探頭臺沒有等電位連接,探頭臺組成上產生廢金屬,在感應起電的環保時會產生除靜電,導致對自測結果顯示帶去影晌

整合工作:將電極臺用高壓導線接入使用中國大地

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圖:優化調整后檢查報告

3、芯片測試

測試設備:交流電源表S300+測試探針臺

異常現象:源表未讀取,測試探針冒火星子

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圖:非常檢驗-探頭冒愛的火花

異常原因三同定位軸線纜GUARD數字數據懸在空中。GUARD數字數據如接合適,其電勢與數字數據層主要同樣,于是漏電很弱,于是對數字數據有著了定的保證反應;其實GUARD數字數據懸在空中,其與數字數據層的電勢差較少,只要漏電較少,對數字數據的導致極大

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優化措施:將GUARD數據組網源表,使GUARD數據具備保護功效

4、PD測試

測試設備:直流源表S300+探針臺

異常現象:源表在100nA的量程下,輸出-2V電壓,實際顯示-2.69V

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圖:出錯測驗結論

異常原因:客戶使用的同軸線接觸不良,探針臺沒有接地

優化措施:更換新的同軸線,將探針臺通過導線接入大地


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圖:網站優化后考試最終

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